大范德萨

高精度研磨機向け光ファイバー電気複合スリップリング|LPC-D49シリーズの技術解析

精密表面処理、特に半導体ウェハーや光学レンズの研磨工程において、装置の回転部におけるデータ伝送の品質は、最終製品の歩留まりを左右する極めて重要な要素です。弊社の最新ソリューションである LPC-D49-1605-01E2-01FO は、この課題を解決するために設計されました。

このハイブリッドユニットは、従来の電気信号・電力伝送に加え、大容量データ転送を可能にする 光ファイバー回転ジョイント(FORJ) を統合しています。実は、100rpm 以上の高速回転を維持しながら、遅延のない信号フィードバックを実現することは、従来の銅線のみの構造では限界がありました。そこで、シングルモード光ファイバーを採用することで、電磁干渉(EMI)の影響を一切受けない安定したデータ通信路を確保したのです。

日本国内のエンジニアリング基準に準拠し、本製品の主要パラメータを以下に詳細に記載します。

主な技術的メリット

1. ハイブリッド伝送による信号の完全性

LPC-D49-1605-01E2-01FO の最大の利点は、ノイズの多い電力線と、非常に繊細な光信号を一つの筐体内に共存させている点です。研磨機のモーターから発生する強力な電気的ノイズは、通常の信号線に干渉を引き起こしますが、シングルモード光ファイバーは物理的に電磁干渉を受けません。これにより、1310/1550nm のレーザーフィードバック信号は、常にクリアな状態で維持されます。

LPC-1F2402(JP35-012-12HW)图3.png

2. 徹底した低挿入損失の追求

日本のお客様が重視される「データの正確性」に応えるため、本製品の挿入損失は 2dB 以下に抑えられています。これは、FC/APC コネクタの精密な調芯技術(アライメント)によって実現されました。光信号の減衰が極めて少ないということは、リアルタイムでの研磨圧制御や表面温度監視において、誤差のないデータが得られることを意味します。

3. 金対金接点による長期信頼性

電力伝送用の 16 回路には、弊社の強みである 金対金(Gold-to-Gold)接点 を採用しています。研磨工程では研磨液(スラリ)の飛散や湿気が懸念されますが、金は酸化に強く、長期間の使用でも接触抵抗が ≤35mΩ と極めて安定しています。これにより、装置のメンテナンスサイクルを大幅に延長し、ダウンタイムの削減に直結します。

LPC-56A-08U2(精修).png

主な応用分野

  • ウェハー研磨装置(CMP): 半導体製造における精密な信号伝送。

  • 自動光学検査(AOI): 高解像度カメラの 4K/8K 映像データの高速転送。

  • レーダー監視システム: 高出力回転と高周波信号処理の統合。

  • 水中探査ロボット: 3mm のアーマー保護された光ファイバーによる高耐久通信。


結局のところ、優れたスリップリングとは「存在を感じさせないほど安定していること」に尽きます。銀メッキテフロン線やアルミニウム合金筐体の採用は、単なる材料選びではなく、過酷な工場環境での耐久性を逆算した結果です。

複数のユニットを個別に設置するのではなく、直径 49mm のコンパクトなボディに統合することで、設計の簡素化と故障リスクの低減を同時に達成しました。確かな技術データに基づいた選定こそが、次世代の精密機器開発を成功に導く鍵となります。


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